不锈钢真空手套箱的质量有多方面因素决定的，主要为走漏率，水氧目标，再生频率，设备毛病率和功用。

　　1）走漏率：走漏是影响手套箱性能的最重要因素，由于走漏率的大小决定了手套箱的水氧杂质的浓度、再生频率、气体净化材料的寿命。单工位手套箱的走漏率一般为<0.001%vol/h至0.05%vol/h，威格手套箱的走漏率<0.001%vol/h。

　　2）水氧目标：水氧目标指的是箱体内水氧浓度，衡量手套箱内气体的纯度的标准。一般它们的浓度被维持在小于1PPM（百万分之一）。当水氧浓度持续大于1PPM时，阐明净化柱的气体净化能力在相当程度上被耗费了，现已无法维持手套箱的水氧目标在要求的范围内。此刻，手套箱的气体净化系统需求进行再生。

　　3）气体净化系统再生频率：手套箱再生需求购买再生气，再生时需求停止运用手套箱一天。因此过分频繁再生，不仅添加运作本钱，还影响生产功率。气体净化系统再生频率一般为每年1至12次。威格手套箱的再生频率为每年1次。

　　4）设备毛病率：毛病率是手套箱质量的一个很重要的目标。手套箱的主要毛病发生在水氧分析仪、阀门、循环风机。

　　5）功用：尽管手套箱的主要功用是提供一个无水无氧的环境，但许多功用可以使运用更便利，功率更高，还可以避免损坏设备或手套箱内的气氛。

　　6）外观：尽管外观不影响设备的功用，但美好外观也能给用户的。