1、了解您的应用程序
单区与多区:多区炉具有多个独立控制的恒温区,允许受控的温度梯度或较长的加热区。
水平(标准)与垂直:垂直管炉提供较小的占地面积,可用于快速加热/淬火过程
RTP(快速热处理):可滑动的样品保持器或加热炉
高压/真空炉:特殊设计的高温高压真空处理用不锈钢或高温合金管
旋转管式炉:加热过程中旋转管以提高粉末加工/涂层均匀性
气体处理能力:可用于氢气处理和高温腐蚀研究的特殊模型
多功能:基于管式炉的完整系统,如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生长系统等
2、选择工作温度
请注意有最高温度(可维持1小时)和连续工作温度(安全,连续使用温度)最高工作温度取决于所用的加热元件,可分为四类
a.250~1250°C Fe-Cr-Al或Ni-Cr-Al合金加热元件K型热电偶
b.1300~1600°C SiC加热元件S型热电偶
c.1600~1800°C MoSi2发热元件B型热电偶
d.1800~2000°C石墨或W加热元件C型热电偶